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人民財訊12月25日電，企查查APP顯示，近日，上海微電子裝備（集團）股份有限公司中標步進掃描式光刻機項目，中標金額約1.09億元。據此前公告，招標方為科學技術部。企查查信息顯示，該公司成立于2002年，經營范圍包含：半導體裝備、泛半導體裝備、高端智能裝備的開發、設計、制造、銷售及技術服務等，由上海電氣控股集團有限公司、張江高科全資子公司上海張江浩成創業投資有限公司等共同持股。

據了解，步進掃描光刻是一種混合光刻技術，結合了掃描投影光刻和分步重復光刻的優勢。該技術通過動態掃描方式同步移動掩膜版和晶圓，標準曝光尺寸為26 mm×33 mm，可增大曝光場并一次曝光多個芯片，其具備整個掃描過程的實時聚焦調節能力，適用于0.25μm以下的制造工藝，尤其在0.18μm節點及更先進工藝中廣泛應用。