證券時報·e公司
嚴翠
12-25 17:06
人民財訊12月25日電,企查查APP顯示,近日,上海微電子裝備(集團)股份有限公司中標步進掃描式光刻機項目,中標金額約1.09億元。據此前公告,招標方為科學技術部。企查查信息顯示,該公司成立于2002年,經營范圍包含:半導體裝備、泛半導體裝備、高端智能裝備的開發、設計、制造、銷售及技術服務等,由上海電氣控股集團有限公司、張江高科全資子公司上海張江浩成創業投資有限公司等共同持股。
據了解,步進掃描光刻是一種混合光刻技術,結合了掃描投影光刻和分步重復光刻的優勢。該技術通過動態掃描方式同步移動掩膜版和晶圓,標準曝光尺寸為26 mm×33 mm,可增大曝光場并一次曝光多個芯片,其具備整個掃描過程的實時聚焦調節能力,適用于0.25μm以下的制造工藝,尤其在0.18μm節點及更先進工藝中廣泛應用。